SE激光掺杂

Date:2021-03-29   Hits:3358

该工艺利用PSG层,使用激光对电池片进行SE掺杂,显著增加电极的导电性。针对这个工艺,我们把激光光斑整形后变为平顶方形光斑,使其能量分布均匀,适合PSG的SE掺杂的应用。

工艺特征